核心介质：
原料：陶瓷粉体（氧化铝、氧化锆、氮化硅）、耐火骨料（刚玉、莫来石）、粘结剂（硅酸钠、树脂）
辅助介质：水、压缩空气、高温烟气（煅烧工序）
工况参数：
压力：常压～3 MPa（成型压力）
温度：室温～1600℃（煅烧窑高温区）
介质特性：高硬度粉体（磨蚀性极强）、高温烟气（含粉尘、腐蚀性气体）
典型场景：粉体原料输送控制、成型机进料调节、煅烧窑进料 / 出料切换、烟气排放旁路
阀门要求：
超强耐磨：选用陶瓷阀体、陶瓷密封（氧化铝 / 氧化锆材质），流道耐磨涂层（WC-Co）
耐高温：煅烧窑配套阀门选用耐高温合金（如 GH3030）、陶瓷衬里
防堵塞：粉体输送选用刀闸阀、滑板阀（大流道、无积料死角）
行业标准：GB/T 26248（陶瓷密封阀门）、ASTM C1554（耐火材料用阀门）
高纯气体：硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）、氢气（H₂）、氧气（O₂）、氟化氢（HF）、惰性气体（N₂、Ar）
液体原料：光刻胶、显影液、蚀刻液（含 HF、H₂O₂）、去离子水（UPW，纯度≥18MΩ・cm）
压力：真空（≤0.0001 MPa，镀膜工艺）~ 0.6 MPa（气体输送）
温度：-20℃（低温气体）~ 150℃（工艺温度）
介质特性：高纯（杂质含量≤ppb 级）、剧毒（硅烷、HF）、易燃（氢气、硅烷）、强腐蚀（蚀刻液）
典型场景：高纯气体输送 / 切换、蚀刻液循环控制、光刻胶涂布调节、真空镀膜设备进出口控制、尾气处理系统切换
超高纯度：阀体内外抛光（Ra≤0.2μm），无死体积，材质选用 316L EP 级（电子级）、哈氏合金
零泄漏：密封等级 Class VI 级，膜片阀 / 波纹管密封（防止介质污染与泄漏）
防腐蚀：蚀刻液（HF）选用蒙乃尔合金、PTFE 衬里阀门
洁净度：符合 ISO 14644-1 Class 1~10 级洁净室要求，阀门脱脂、无尘包装
行业标准：SEMI F19（半导体设备阀门）、ASTM A480（电子级不锈钢）
